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半導體行業(yè)解決方案

行業(yè)痛點

  • 環(huán)境要求嚴格

    潔凈室靜電、無塵、避震要求高，
    通道狹窄易磕碰

  • 人工作業(yè)難

    人員流失率大，用工成本高，且人工作業(yè)震動大，
    易產(chǎn)生裂片污染，影響良率

  • 信息孤島

    工藝流程復雜且離散，
    數(shù)據(jù)難以追溯

半導體車間整體物流解決方案

核心產(chǎn)品： 復合機器人H100

方案優(yōu)勢與價值

  • 提高生產(chǎn)效率

    機器人高效代替人工作業(yè)，降低人工成本，提高生產(chǎn)效率。

  • 提高生產(chǎn)良率

    多級減震設計，防止運輸過程中晶圓碎裂，提高生產(chǎn)良率。

  • 實現(xiàn)跨廠房及窄通道搬運

    機器人本體寬度僅 550mm，可通過狹窄的風淋門，實現(xiàn)窄通道高效搬運。

  • 智能化柔性生產(chǎn)

    采用智能管理系統(tǒng)主動收集生產(chǎn)數(shù)據(jù)信息，實時分析生產(chǎn)情況。